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   涡轮分子泵的极限压力p1可用泵出口压力p2除以泵的压缩比K得来,即

(2-24)  K  涡轮分子泵的K值,随分子量的增加而增大,它对油蒸气的压缩比特别大  因而能够获得碳氢化合物污染较少的清洁真空,但对于轻的气体如氢的压缩比却很  低,所以前级氢分压是影响泵的极限压力最重要的因素,氢的分压主要来源于前级  机械泵运转时油裂解产生氢的影响,不同牌号的前级机械泵油,对分子泵的极限压  力的影响远远大于泵轴承润滑油的影响。高压缩比的分子泵,经过烘烤后能获得  1×10=6~1×10-9Pa的真空度,氢占残余气体成分的90%以上。  图226所示为在不烘烤条件下,极限压力1.3×107Pa时涡轮分子泵的残气  质谱。可以看出水是主要出气成分,约占总气量的80%,并在质量17处有一个裂  解碎片较小的伴峰。质量28和44峰是热灯丝裂解润滑油产生的一氧化碳和二氧化


碳。随着抽气时间的延长,水峰将逐渐降低,

0°  氢峰逐渐成为残余气体主峰  影响涡轮分子泵极限压力的另一个重要原a10  因是前级压力不能过高,涡轮分子泵的前级排102  气压力和前级泵的进气口压力不应该超过65~5

妥10  130Pa。图227所示为抽速为200L/s的涡轮分g  子泵其前级压力p1对泵的极限压力pm的影响。10  可以看出,前级压力从1Pa增大到130Pa时,  泵的极限压力不受影响,当前级压力从65Pa提

510  前级压力pPa  高到130Pa时,泵的极限压力从4×105Pa增  加到2×10-3Pa,前级压力从130Pa继续提高到
图2-27涡轮分子泵的前级  压力与极限压力的关系  200Pa时,泵的极限压力迅速增大三个数量级,  此时受泵的抽气叶列中气体流动状态变化的影响,泵的压缩比从K=104降到  K=102。
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