在真空系统装配中，柔性管路接头用来适应热膨胀或位置调整(零件之间需要  有相对移动),或者需要隔离振动以及强度弱的零件免受应力损伤等。  超高真空系统的前级低真空，可采用真空橡胶管、塑料管等柔形管路，管路壁  厚要能承受大气压力，薄壁管要在管内设加强件(如钢丝弹簧)。这种软管常用在  前级粗抽系统，用以隔离机械真空泵的振动。  超高真空系统的活动部件，如阀门的移动机构，通常使用铜、不锈钢、镍铬铁  合金等材料制成的金属波纹管。典型的轧制或液压成型的金属波纹管如图3-15所  示。A型、B型、C型为两端开口的波纹管；AD型和BD型为一端封闭一端开口

的波纹管。这种类型的金属波纹管，其单位  长度的波节和每个波节的位移量较少，每根  波纹管的长度也受到加工设备的限制。  另一类的波纹管是焊接波纹管，如图3-16  所示。焊接波纹管单位长度的波节和每个波  节的位移量较大，但造价较高，内壁不容易  清洗，只能靠烘烤清洗。

(a)焊接波纹管的结构  波纹管组件焊接及封接结构如图3-17所

(b)熔焊详图  图316焊接波纹管  示。金属波纹管的壁很薄，焊接部位需将厚  法兰的焊接处加工成与波纹管相同的薄壁，  否则，容易焊穿薄壁波纹管。焊缝尽可能处在真空内侧，避免形成不利于抽真空的  “死空间”。为了增加焊缝强度，外侧可以采用断续焊接进行定位和加固。

(b)波纹管与玻璃封接  (a)波纹管与法兰焊接  图3-17波纹管组件的焊接及封接结构  波纹管用于真空管路时大气压可使波纹管缩短，这就要求连接系统的两端有  够的机被支撑强度，或用支撑杆加以固定，限制大气压力压缩波纹管的伸缩量。  波纹管是真空系统中最容易损坏的元件，注意不能让它承受过大的应力，否  会影响它的使用寿命。波纹管不宜使用强腐蚀剂进行清洗，并且容易碰伤，应注

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