涡轮分子泵工作特性主要表现在如下几个方面  (1)抽速与转速的关系  抽速与转速大致有

S

(4-67)  的关系。其中：g是决定于几何形状的常数；u为动叶片的转速。实测结果如图4-61所示  即抽速随转速的增加比直线稍慢。这可由抽速高时进气管道流导的限制作用来解释，依式  (4-66),S将随S1增大而偏离直线。  (2)抽速与进口压强的关系  分子泵在分子流的压强范围内，其抽速几乎不变。因为分子流时流导C与压强无关；  又依式(4-65),S1只决定轮叶形状、转速及气体种类，也与压强无关。故依式(4-66),实  际抽速也就与压强无关。但当压强增高到不满足分子流条件时(约为2×101Pa),由于大  部分分子与轮叶不能直接碰撞，抽速因此迅速下降。如图4-62中的右边部分，曲线1、2、3  对应不同的前级泵

(3)压缩比与转速及相对分子质量的关系  压缩比与转速及相对分子质量的平方根有指数关系

(G

(4-68  K  式中，G为决定于几何形状的参数  实测结果与式基本符合。如图4-63所示
为压缩比，其中：p表示前级泵口的压  力，力。表示分子泵入口压力。同一转速下，大气体分子压缩比大，极限真空高，轻气体分  子，压缩比小，极限真空低，即分子泵极限真空中以轻分子为主；换句话说，分子泵抽除像  氢气、氦气等轻分子的能力差。分子量大的气体，压缩比较高。这是涡轮分子泵可用来获得  洁净真空的物理基础。  (4)压缩比与前级压强的关系  通常分子泵选择机械泵作为前级泵，当前级压强满足一定要求时，分子泵工作稳定，压  缩比保持常数。如图464所示，当前级压强上升到1Pa时，小质量数的分子压缩比开始下  降，当前级压强上升到数十帕时，压缩比急剧下降，分子泵便不能正常工作。

(5)抽速与气体种类的关系  抽速与气体种类有如图4-65所示的关系，即随的变化比直线略慢。这是因为在转速  定时，P大的气体固然其速率比值大，因而轮叶的何氏系数大，但它们在进气管道的流导  都因增大而减小。两者综合的结果使S与v的关系变化缓慢

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