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   一、工作真空度  正确地了解与确定一个设备所要求的真空度是很重要的,  它直接影响到真空系统的结构选择和对设备维修的要求。真空  系统一定要能够满足作业所要求的真空度。只要系统具有足够  的气密性,内部又没有经常放出气体或蒸气的气源,则这一要求  是可以满足的。当然也并不是真空度愈高愈好。否则会使设备  外形过分臃肿,成本增加。表6-1给出了通常真空作业所使用的  压强范围,可以参照。

、残余气体成分  某些真空作业,不但要求一定的真空度,而且还要求特定的  残余气体成分,如超高真空范围作业,常要求无碳氢化合物污  染,即系统要洁净无油才好。但也不应尽搞“全无油”,要从经  济方面考虑。往往用现有系统加以改造,就可以又快又省地满  足作业的要求了。
空  残余气体成分  某些真空作业,不但要求一定的真空度,而且还要求特定的  残余气体成分,如超高真空范围作业,常要求无碳氢化合物污  染,即系统要洁净无油才好。但也不应尽搞“全无油”,要从经  济方面考虑。往往用现有系统加以改造,就可以又快又省地满  足作业的要求了。

 
三、工作压强下的有效抽速  这要根据气体负荷确定。系统的结构、材料选择、清洁处  理和操作维护等都会大大影响气体负荷。第一章已介绍了一些  决定导管通导能力和对容器有效抽速的核算方法。假定系统通  导能力符合要求,那么要注意作业工、卡具和材料的预除气  以及严格的清洁处理,要尽可能降低气体负荷。并据此决定前  级泵大小,仔细核算通导能力。若气体负荷过大,则要考虑是  否加增压泵。有效抽速与泵抽速之比要根据泵的结构综合考虑,  一般机械泵在95%扩散泵在30~70%。  四、气体负荷成分及负荷变化
负荷成分不同,系统结构选择和泵的选择肯定不同。粗低  真空范围内,若含有腐蚀性的气体,有颗粒、泥沙、尘埃的气  体就不宜用机械泵和罗茨泵,应该用水环泵和喷射泵。用分子  泵抽气考虑到氧气存在,应当并联钛升华泵,这样才能使真空  度提高,并达到超高真空范围。
五、日循环数
每日进行装料  抽气—一作业  放气一一卸料的循环  次数,叫日循环数。这也是设计、改造系统结构,选择、核算  抽速所必须考虑的因素。必要时,泵用多室的结构为好。例如  圆排车上就常用十室泵作前级泵。0、)一空离
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