欢迎来到深圳市扬程真空设备有限公司
4维修资讯
您的位置: 首页 ->  维修资讯 -> 真空计之弯注抑制规是怎么样的?

       弯注抑制规如图4-3所示,由阴极、电子加速栅极(加速极)、离子聚焦极、  辅助阳极、抑制极、离子收集极、内偏转极、外偏转极和屏蔽罩组成。由阴极、电  子加速栅极构成规的电离系统和由屏蔽罩抑制极和离子收集极构成离子收集系统。  在电离系统和离子收集系统之间,设置了一个90°离子偏转系统,偏转系统包括聚  焦极,内、外偏转极。  规的工作原理为:规管内被测气体分子在栅极框被电离为正离子,离子被离  子聚焦极引出并聚焦后经静电偏转系统偏转90°后进入离子收集系统。该结构使  加速极产生的软X射线不能直接照射到收集极的表面,同时x射线的反射部分  也因经过多次来回才能抵达而大为减弱。另外,由于有屏蔽罩和抑制极的存在,  还可以对小部分软X射线引起的光电流进行抑制,使光电流的影响进一步减小  在理论上弯注抑制规的测量下限比抑制规低两个数量级,达到10-12Pa。但由于  高温灯丝存在,阴极的蒸气压和出气速率都可能影响小于10-1Pa压力的获得。  此外,极间电极漏电及弱电流测量等问题,弯注抑制规的实际测量下限为  10-1Pa。辅助阳极的作用是供偏转电极进行电子轰击除气而用。除气功率约为  700V×200mA。  目前,弯注抑制规是极高真空规中最好的一种规型,性能稳定可靠。在没有极  高真空校准系统条件下,大都以弯注抑制规的读数作为压力参考值。  弯注抑制规的电参数一般选择为:加速电压VA=200V;阴极对地电压VK  25V;V
450V。Vc=Vsh=VE=0(地电位)。灯丝发射电流  340V: VD  。=2mA;规管系数为0.15Pa-

真空泵维修,莱宝真空泵--深圳扬程真空设备

扫一扫扬程手机站
真空泵维修-扬程手机站